- UV：光源に近紫外用重水素ランプ
- C ：デスクトップのコンピューター
- MS：マニュアルXYステージ
- %R：通常入射角反射法
- %T：通常入射角透過法
- %R＠70：70度入射角反射法
- %T＠70：70度入射角透過法
- VTF：200umまでの膜厚測定
- N ：屈折率計測
- K ：吸収(減衰)係数計測
| - SR：表面粗さ測定
- GL：傾斜層計測
- EMA：有効誘電率近似
(Effective Medium Approximation) - BG：エネルギーバンドギャップ計測
- PSD：薄膜のパワースペクトル密度計測
- DPSD：入射角差パワースペクトル密度計測
- I：エリプソメーター及び分光器で測定されたデータからの計算
- VB：ビジュアルベーシックスタイルプログラム言語
- RG：アスキー形式ファイル出力
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