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<概 要> 近年、光通信、光関連の民生機器は様々な用途で多機能な光学薄膜設計を要求されてきました。それらのアプリケーションではただ単に、期待値を算出することだけでなく期待値に対して多機能な設計の最適化が要求されます。光学薄膜や光学フィルターを設計する上では、FilmWizardは世界的に実績があり、分光器、エリプソメーターからのインターフェースも容易でアプリケーションへの対応もVisualBasicベースのマクロを容易に作成できるため、In-Situモニター等のシステムに組み込むことも可能です。
| <機 能> |
- Needle Synthesisを含んだ6種類の最新の光学薄膜合成法
- 3種類のグローバル方法の7種類の最適化アルゴリズム
- 最大、最小値を強制的にパラメーター入力できる最適化法
- 透過、反射、吸収、透過位相、反射位相、エリプソメトリックパラメーター(Tan(Ψ)、Cos(δ)、Ψ、δ)、光学密度、ユーザー定義式によるデータ
(例:Ts/Rp - Rs/Tp)、eV表示、色座標等への最適化計算 - 傾斜層等を含んだ複雑な設計のための複雑な材料モデルの計算手法として、Rugate、EMA、Graded、User Defined Index、Super Latticesを用意
- 画面出力は2、3次元、等高線表示
- VBマクロ言語
- On-Lineヘルプ機能
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<用 途> - 設計(1000層まで)
- 材料(14種類の材料モデル)
- 解析(波長、ランダム光、P、S波、出力可)
- 材料モデルの最適化及び作成
- 合成(26種類まで材料)
- 結果出力
- マクロインターフェース
- カスタムソフトウェア

<概 要> In-Situモニターを行う上で、ターゲット波長の時間における反射及び透過データはリファレンス用として不可欠な要素になっています。そのデータを作成する上でFilmTekで個別の材料モデルをFilmWizard等の光学薄膜設計ソフトウェアから材料合成した結果を直接取りこめるソフトウェアがFilmMonitorです。SCI社ではこれらのソフトとのリンク及び外部装置とのリンクを容易に可能にし、最終的に適合材料に最も最適な膜を作れる装置等に組み込めるトータルシステムを供給できます。 <特 徴> - FilmMonitorは素早く容易にコーティングエンジニアに実行シートを提供します。
- 設計はFilmWizardから、またはFilmMonitorに直接入力できます。
- 最大75モニターチップまで設計に適用し、チップ材料、入射角をチップごとに定義します。
- 透過、反射、エリプソメトリックパラメーターを多波長で用意します。
- 相対値、絶対値での出力が可能。相対モードではGainとOffsetを各層の出発地点で調整できます。
| <機 能> |
- 光学モニターワークシート
- 設計オプション
(最大500層の光学、物理膜厚) - 材料モデル
(FilmTek、FilmWizardと共用) - 光学モニター実行シートの
カスタマイズ機能
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