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光学式薄膜測定器


非接触光学式薄膜計測システム
  • 膜厚、屈折率、吸収係数の測定に最適
  • 0.00002の屈折率測定精度保証(FilmTek4000)
  • 有機膜測定(波長分散で評価可能)
  • 2.5nm〜250umまでの屈折率、吸収係数、膜厚測定レジン
  • 最大5層までの屈折率、吸収係数、膜厚測定

TOPFilm Tek概要Film Tek製品一覧薄膜設計ソフトウエアFilm Tek製品仕様

<Scientific Computing International社>
米国サンディエゴにある同社は1993年に設立。薄膜設計ソフトFilm Wizardを開発・販売し、国内で200セット以上の実績をあげています。1997年にはFilm Wizardを基に光学式膜厚測定システムFilmTekシリーズを開発しました。今までにないシステムで、非接触、非破壊で高精度の屈折率測定を行うことができ、現在では世界的に高い評価を受けています。

<SCI社 製品概要>

分光エリプソメーター
アドバンスドメトロジーシステム
FilmTek2000:分光式標準システム
FilmTek2000M:微小スポット用顕微鏡オプションシステム
FilmTek3000:反射・透過システム
FilmTek3500:反射・斜め透過システム
FilmTek4000:多角度 Power Spectral Densityの差動用システム
ソフトウエアツール
Film Wizard:光学薄膜設計用ソフトウエア
FilmEllipse:エリプソ用ソフトウエア
FilmMonitor:光学堆積モニターソフトウエア


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