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非接触光学式薄膜計測システム | - 膜厚、屈折率、吸収係数の測定に最適
- 0.00002の屈折率測定精度保証(FilmTek4000)
- 有機膜測定(波長分散で評価可能)
- 2.5nm〜250umまでの屈折率、吸収係数、膜厚測定レジン
- 最大5層までの屈折率、吸収係数、膜厚測定
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<Scientific Computing International社> 米国サンディエゴにある同社は1993年に設立。薄膜設計ソフトFilm Wizardを開発・販売し、国内で200セット以上の実績をあげています。1997年にはFilm Wizardを基に光学式膜厚測定システムFilmTekシリーズを開発しました。今までにないシステムで、非接触、非破壊で高精度の屈折率測定を行うことができ、現在では世界的に高い評価を受けています。 <SCI社 製品概要> 分光エリプソメーター アドバンスドメトロジーシステム FilmTek2000:分光式標準システム FilmTek2000M:微小スポット用顕微鏡オプションシステム FilmTek3000:反射・透過システム FilmTek3500:反射・斜め透過システム FilmTek4000:多角度 Power Spectral Densityの差動用システム ソフトウエアツール Film Wizard:光学薄膜設計用ソフトウエア FilmEllipse:エリプソ用ソフトウエア FilmMonitor:光学堆積モニターソフトウエア Film Tekシリーズ|Film Tek4000|Film Tek製品仕様|薄膜設計ソフトウエア
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