コントローラー仕様	コンピュータソフトウェア	→	→	→
	IBM PC -コンパーチブルコンピュータ	→	→	→
	VGA グラフィックインターフェイス	→	→	→
	128MB RAM	→	→	→
	LS 120 MB ドライブ/ 3.5" フロッピー 1.44MB	→	→	→

	TFアナライザー1000	TFアナライザー2000
ブローブヘッドハードウェア		FE　モジュール STD	FE モジュール Enhanced	FE−HV　モジュール
ドライブユニット
電圧範囲	±12V	-25V〜+25V	-25V〜+25V、±5V	±500V/ ±4kV/ ±10kV/ ±20kV/ ±30kV
出力インピーダンス	50Ω	10Ω	10Ω、70Ω
スルーレート	100V/us	100V/us	100V/us、4.2V/ns	50V/ 150V/ 30V/ μs
周波数	100Hz	<1MHz(容量に依存)	<1MHz(容量に依存)100kHz
負荷	10nF	1uF(周波数依存)
最大出力電流		±1A	→
出力電流の安定性	±50mA			±20mA (4kV)
電流増幅器
電流範囲	1nA〜1A	10pA〜1A	→	10pA〜1A
tr/ｔｆ
10 pA		10ms	10ms	10ms
1nA	300us	900us	900us	900μs
1uA		50us	300ns
1mA	30us	5us	65ns	5μs
1A	10us	3us	25ns	3μs
ファティーグ仕様
最大周波数	100kHz	10MHz(6V、100pF)
ソフトウェア仕様
オペレーティングシステム	Windows NT	Windows NT	Windows NT	Windows NT
	グラフィック　ユーザー インターフェース	グラフィック　ユーザー インターフェース	グラフィック　ユーザー インターフェース	グラフィック　ユーザー インターフェース
	→	データはASCIIにて出力可能	→	→

測定項目
ヒステリシス測定	○	○	○	○
ファティーグ測定	○	○	○	○
リテンション測定	○	○	○	○
スタィックヒステリシス測定		○	○	○
インプリント測定	○	○	○	○
リーク電流測定	○	○	○	○
PUND測定		○	○	○
CV測定		○	○	○
Piezo測定	オプション	オプション		オプション
Pyro測定	オプション	オプション		オプション
装置仕様
大きさ
高さ	200mm	200ｍｍ	→	→
幅	450mm	470ｍｍ	→	→
奥行き	400mm	500ｍｍ	→	→
重さ（HVアンプを除く）	10kg	20kg	→	→

オプションヘッド
ブローブヘッドハードウェア	PS　モジュール		RX　モジュール		DRAM　モジュール
ドライブユニット		電圧ステップ発生器		電圧パルス発生器
電圧範囲	10V	電圧範囲	±10V	電圧範囲	±10V
出力インピーダンス	70Ω	スルーレート	100ns	最小パルス幅	50ns
スルーレート	1.2ns	出力抵抗	<5Ω	最大パルス幅	640us
周波数	100kHz
負荷	100Ω(シャント抵抗)	電流増幅器		スイッチング特性
		電流レンジ	100mA〜10pA	遅延時間	<2ns
追加オシロスコープ		バンド幅	(I>50uA)300kHz	入力抵抗	<50Ω
アナログバンド幅	1GHz		(I>1mA)500kHz	入力容量	>1013Ω
最大サンプリングレート	5GS/s
IEEEインターフェース		測定項目	relaxationと漏れ電流測定	測定項目	自己チャージ測定
サンプル仕様
入力容量	0.8pF
入力抵抗	1MΩ
測定項目	パルス分極測定