強誘電体テストシステム（aixACT）


TFA1000強誘電体テストシステム	TFA2000強誘電体テストシステム

＜概要＞

ドイツのアグザクトシステムズ社は、1995 年アーヘン工科大学内に政府の予算にて設立されました。強誘電性材料の研究テーマに必要なテストシステムの供給を目的とした会社です。

当初、強誘電体材料には薄膜評価からバルク評価まで様々なアプリケーションを未来に可能性を残し、その分野で絶対的な測定を可能にすること目的とし、独自の測定手法で業界の標準器として現在世界中で使用されております。

特に、微小サンプルの分野では 0.3umx0.3um までのトランジスターを介したセルのヒステリシスまで測定を可能にし、バルク分野では Piezo 等のアプリケーションで 30kV までの高電圧発生器と様々な変位計との連動を可能にしております。

現在強誘電体メモリーの分野では開発から生産へ急ピッチの展開が各社繰り広げられておりますが、同社はユーザーでの設計とプロセスの間でのスパイスパラメーターを共用できるシステムまでインテグレートできるようなシステムの構築を行い、メモリー分野で早急な立ち上げを広くサポートできる環境にあります。

また、同社のダブルビームレーザー変位計は 1pm の分解能で、強誘電体薄膜の絶対変位計測をも可能にしたシステムも構築できます。

弊社では、これらのアプリケーションにあわせて、測定変位計および、測定冶具、高電圧アンプ、データベースソフトウェアの様々な用途に合わせて一連のシステムを供給しております。

＜サービス内容＞

強誘電体テストシステム販売、サポート

薄膜成膜サービス
強誘電体テストシステム測定項目

測定例
PZT 0.3μm x 0.3μm, 6V, 10Hz Triangular excitation
k33テストシステム測定例

ダブルビーム変位計との組み合せ例

分解能　0.2pm 基材の反り等をキャンセルして高精度、高再現性で測定可能 d33、d31測定