光学式薄膜測定システム（SCI）

	非接触光学式薄膜計測システム
	膜厚、屈折率、吸収係数の測定に最適 0.00002の屈折率測定精度保証（FilmTek4000） 有機膜測定（波長分散で評価可能） 2.5nm〜250umまでの屈折率、吸収係数、膜厚測定レジン 最大5層までの屈折率、吸収係数、膜厚測定

＜Scientific Computing International社＞
米国サンディエゴにある同社は1993年に設立。薄膜設計ソフトFilm Wizardを開発･販売し、国内で200セット以上の実績をあげています。1997年にはFilm Wizardを基に光学式膜厚測定システムFilmTekシリーズを開発しました。今までにないシステムで、非接触、非破壊で高精度の屈折率測定を行うことができ、現在では世界的に高い評価を受けています。

＜SCI社　製品概要＞

分光エリプソメーター
アドバンスドメトロジーシステム
FilmTek2000：分光式標準システム
FilmTek2000M：微小スポット用顕微鏡オプションシステム
FilmTek3000：反射・透過システム
FilmTek3500：反射・斜め透過システム
FilmTek4000：多角度 Power Spectral Densityの差動用システム
ソフトウエアツール
Film Wizard：光学薄膜設計用ソフトウエア
FilmEllipse：エリプソ用ソフトウエア
FilmMonitor：光学堆積モニターソフトウエア