ヤーマン サイトトップ製品情報先端電子機器光学式薄膜測定システムFilm Tek製品仕様

光学式薄膜測定システム(SCI)


  • UV:光源に近紫外用重水素ランプ
  • C :デスクトップのコンピューター
  • MS:マニュアルXYステージ
  • %R:通常入射角反射法
  • %T:通常入射角透過法
  • %R@70:70度入射角反射法
  • %T@70:70度入射角透過法
  • VTF:200umまでの膜厚測定
  • N :屈折率計測
  • K :吸収(減衰)係数計測
  • SR:表面粗さ測定
  • GL:傾斜層計測
  • EMA:有効誘電率近似
      (Effective Medium Approximation)
  • BG:エネルギーバンドギャップ計測
  • PSD:薄膜のパワースペクトル密度計測
  • DPSD:入射角差パワースペクトル密度計測
  • I:エリプソメーター及び分光器で測定されたデータからの計算
  • VB:ビジュアルベーシックスタイルプログラム言語
  • RG:アスキー形式ファイル出力



<その他の取扱商品>

  • デバイス温度環境試験装置 米国 THERMONICS社製
    圧縮エアーまたは窒素ガスと電源のみで、温度環境を高速で行うことが出来るシステム。
  • プローブステーション 米国 SIGNATONE社製
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    ファイバー端面研磨装置

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