プロービングシステム（SIGNATONE PROBING DIVISION）

マニュアルからセミオート機能を搭載したモデルを用意し半導体ICの微細なパターンに直接プロービング可能なシステムです。ユーザーの仕様に応じたシステムを構築できます。また、薄膜等の、抵抗率、膜厚分布を測定アプリケーションのためにシート抵抗測定システムも用意しております。


＜概要＞多機能プロービング 200～300mmステージ PCによる外部遠隔操作 100nmプロービング分解能

＜概要＞ステッピング＆リピート機能マッピング機能

＜概要＞ 100mm, 150mm , 200mm ウェハステージフルマニュアル構成

＜概要＞低価格 85mm and 100mm ウェハ用

＜概要＞マニュアルから3D マッピングまで4端子プロービングにて抵抗率測定

＜概要＞ 10 GHz ～ 220 GHz RF プロービングヘッド

＜概要＞テストヘッドにダイレクトにプロービングし高速テストノイズフリーテストを実現します