コントローラー仕様 コンピュータソフトウェア
  IBM PC -コンパーチブルコンピュータ
  VGA グラフィックインターフェイス
  128MB RAM
  LS 120 MB ドライブ/ 3.5" フロッピー 1.44MB

  TFアナライザー1000 TFアナライザー2000
ブローブヘッドハードウェア   FE モジュール STD FE モジュール Enhanced FE−HV モジュール
ドライブユニット        
電圧範囲 ±12V -25V〜+25V -25V〜+25V、±5V ±500V/ ±4kV/ ±10kV/ ±20kV/ ±30kV
出力インピーダンス 50Ω 10Ω 10Ω、70Ω  
スルーレート 100V/us 100V/us 100V/us、4.2V/ns 50V/ 150V/ 30V/ μs
周波数 100Hz <1MHz(容量に依存) <1MHz(容量に依存)100kHz  
負荷 10nF 1uF(周波数依存)    
最大出力電流   ±1A  
出力電流の安定性 ±50mA     ±20mA (4kV)
電流増幅器        
電流範囲 1nA〜1A 10pA〜1A 10pA〜1A
tr/tf        
10 pA   10ms 10ms 10ms
1nA 300us 900us 900us 900μs
1uA   50us 300ns  
1mA 30us 5us 65ns 5μs
1A 10us 3us 25ns 3μs
         
ファティーグ仕様        
最大周波数 100kHz 10MHz(6V、100pF)    
         
         
ソフトウェア仕様        
オペレーティングシステム Windows NT Windows NT Windows NT Windows NT
  グラフィック ユーザー
インターフェース
グラフィック ユーザー
インターフェース
グラフィック ユーザー
インターフェース
グラフィック ユーザー
インターフェース
  データはASCIIにて出力可能

測定項目        
ヒステリシス測定
ファティーグ測定
リテンション測定
スタィックヒステリシス測定  
インプリント測定
リーク電流測定
PUND測定  
CV測定  
Piezo測定 オプション オプション   オプション
Pyro測定 オプション オプション   オプション
         
装置仕様        
大きさ        
高さ 200mm 200mm
450mm 470mm
奥行き 400mm 500mm
重さ(HVアンプを除く) 10kg 20kg

オプションヘッド
ブローブヘッドハードウェア PS モジュール   RX モジュール   DRAM モジュール
ドライブユニット   電圧ステップ発生器   電圧パルス発生器  
電圧範囲 10V 電圧範囲 ±10V 電圧範囲 ±10V
出力インピーダンス 70Ω スルーレート 100ns 最小パルス幅 50ns
スルーレート 1.2ns 出力抵抗 <5Ω 最大パルス幅 640us
周波数  100kHz        
負荷 100Ω(シャント抵抗) 電流増幅器   スイッチング特性  
    電流レンジ 100mA〜10pA 遅延時間 <2ns
追加オシロスコープ   バンド幅 (I>50uA)300kHz 入力抵抗 <50Ω
アナログバンド幅 1GHz   (I>1mA)500kHz 入力容量 >1013Ω
最大サンプリングレート 5GS/s        
IEEEインターフェース   測定項目 relaxationと漏れ電流測定 測定項目 自己チャージ測定
サンプル仕様          
入力容量 0.8pF        
入力抵抗 1MΩ        
           
測定項目 パルス分極測定