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プロービングシステム (SIGNATONE PROBING DIVISION)

マニュアルからセミオート機能を搭載したモデルを用意し半導体ICの微細なパターンに直接プロービング可能なシステムです。ユーザーの仕様に応じたシステムを構築できます。また、薄膜等の、抵抗率、膜厚分布を測定アプリケーションのためにシート抵抗測定システムも用意しております。


checkmateシリーズ

<概要>
多機能プロービング
200〜300mmステージ
PCによる外部遠隔操作
100nmプロービング分解能

CheckMate
S-460セミオートマティックプロ―ビングシステム

<概要>
ステッピング&リピート機能
マッピング機能

S-460
マニュアル解析用プロ―ビングシステム

<概要>
100mm, 150mm , 200mm
ウェハステージフルマニュアル構成

マニュアル解析用
H-100シリーズハイブリッドプロ―ビングシステム

<概要>
低価格 85mm and 100mm ウェハ用

H-100
4端子抵抗率測定システム

<概要>
マニュアル から3D マッピングまで4端子プロービングにて抵抗率測定

4端子プロ―ビング
RFブロービングシステム

<概要>
10 GHz 〜 220 GHz RF プロービングヘッド

RF
TH760テストヘッドダイレクトプロ―ビングシステム

<概要>
テストヘッドにダイレクトにプロービングし高速テストノイズフリーテストを実現します

TH760テストヘッド

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